近日華工科技近期制造出了我國(guó)首臺(tái)核心部件100%國(guó)產(chǎn)化的高端晶圓激光切割設(shè)備,據(jù)華工科技激光半導(dǎo)體產(chǎn)品總監(jiān)黃偉介紹,半導(dǎo)體晶圓屬于硬脆材料,一個(gè)12英寸(300毫米)的晶圓上有數(shù)千顆甚至數(shù)萬顆芯片晶圓機(jī)械切割的熱影響和崩邊寬度約20微米,傳統(tǒng)激光在10微米左右。
切割線寬的減少,意味著晶圓能做到更高的集成度,從而使得半導(dǎo)體制造更經(jīng)濟(jì)、更有效率。
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